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千级净化车间建设工程及方案-河北电子洁净车间装修

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千级洁净车间装修的应用较为广泛,在医院手术室、机械电子等行业的装修设计中洁常有使用。电子工厂的洁净车间空调系统主要由新风机组MAU、 FFU,干盘管 DCC,室内温湿度,压力监测点构成。一套完善的自控系统不仅保障室内的温湿度,对车间的洁净度也有着重要的影响。千级洁净车间指的是微尘数量被控制在每立方米1000个以内,同时为了防止洁净空间受外界污染,在室内压差上也有所要求,通常要求内部压力(静压)>外部压力(静压);洁净度要求高的空间压力>洁净度要求低的空间压力;洁净车间门的朝向应开向洁净度级别高的房间。

随着各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使用要求,工业装修对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高,尤其是5G热潮袭来、半导体集成电路的高速发展是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志。

一、千级洁净车间装修洁净车间装修设计标准

洁净车间等级标准

洁净车间需要将一定范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将无尘室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,通常根据实验室空气中的颗粒数量,对洁净车间进行分类。洁净车间的分类根据国家不同有不同的等级规定,目前世界各国虽有自订规格,但普遍还是采用美国联邦标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】。其中需要注意的,A、B、C、D级别的划分是参照ISO标准(欧盟采纳的方式),其本身包含了静态要求和动态要求。旧版GMP采纳的是美国的洁净间划分方式,旧版的洁净间划分仅有静态的概念,不要求动态。在美国的联邦标准209(A至D)中,在一立方英尺的空气中测量等于或大于0.5mm的颗粒数,并且该计数用于对洁净车间进行分类。该标准的最新209E版本也接受该度量标准。联邦标准209E在国内使用。较新的标准是国际标准组织的TC 209。

千级电子净化车间-河北九州体育·中国有限责任公司设计施工
千级电子净化车间-河北九州体育·中国有限责任公司设计施工

这两个标准都根据实验室空气中的颗粒数量对洁净车间进行了分类。洁净车间分类标准FS 209E和ISO 14644-1要求进行特定的颗粒计数测量和计算,以对洁净车间或洁净区域的清洁度水平进行分类。

1. 千级洁净车间的建筑通常划分为土建结构和装配式两种,其中装配式更为普遍,主要包括由初级、中级、高级空气过滤器构成的空调送回风系统、排风系统及其他配套系统。

2. 千级洁净车间的室内空气参数设置要求:

① 温湿度要求:温度一般为24±2℃,相对湿度为55±5%。

② 新风量:非单向流洁净车间总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。

③ 送风量:要满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡。

二、无尘车间装修要求

1. 车间吊顶材料:采用FFU盲板或选用防火彩钢板,吊顶内须可上人,对承重要进行详细技术。

2. 车间墙体装修材料:采用防火彩钢板,彩钢板厚度为50mm,可以尽量有效的适用场地的占地面积,该彩钢板在安装时需要进行接地处理,以到达排放静电的功能。

3. 车间地面装修:一般选用环氧自流平或PVC卷材,但无尘车间内须对上述两种材料进行抗静电处理。

三、无尘洁净车间的空调设计方案

1. 无尘洁净车间净化原理

在解决了普通装修易产尘的问题后,洁净室重要的空间净化措施为洁净空调系统,净化空调机组通过风机将室内及室外的部分新风先进行初效过滤后,再进行中效过滤,这两级过滤在组合式净化空调机组内完成,然后用高静压风机泵入管道,管道末端连接与室内相同的特殊送风箱,该送风箱内设置高效率过滤板,通过高效过滤器后的空气进入房间,通过洁净车间空调系统工程师规划的流动路线,带走房间内的微小尘埃,根据不同级别的净化等级需要,上述过程需重复不同的次数,这个问题在下一节将给出具体参数。

2. 无尘洁净车间循环参数

① 无尘车间按级别阐述房间换气次数:十万级洁净车间换气次数每小时不能小于15次;万级无尘车间换气次数每小时不能小于20次;千级无尘室换气次数每小时不能小于50次;百级超净室和十级超净棚不以换气次数为标准,以全天花送风的方式送风,全地面回风的方式回风,即增大送风和回风口所占面积的比例,计算净化组合式空调机组的送风量是以送风速度控制在0.3-0.5m/s来进行反向推算。

 ② 无尘洁净车间的温度和湿度控制范围:冬季>摄氏18度,夏季<摄氏26度,波动范围为±摄氏2度;湿度在45-65%之间,具体以生存的产品特点来确定,正常波动范围在±5%,湿度同时在不同的数量值时对室内的静电也有特殊的效果,所以洁净车间内的湿度要综合考虑;

③ 噪音控制:无尘洁净车间内的噪音以工作人员的舒适度为主要依据,国家噪音标准规定工作环境内的噪音应控制在≤65dB。

④ 新风:为了室内控制人员的舒适度问题,按照暖通通风标准洁净车间内要适当补充新风,新风量按照人员数量计算,按50m3/h计算。

四、光学洁净车间设计关于空调材料的洁净要求

1. 空调系统送风管道采用镀锌钢板制作,考虑到风压较大,建议采用中压法兰式风管,外部采用橡塑作为保温材料,橡塑需为阻燃性,以保证消防防火安全。

2. 高效送风口可采用冷轧板制作,目前市面上有不锈钢材质高效送风口,但根据九州体育·中国有限责任公司的施工经验,不锈钢高效送风口强度较差,在高风压的状态下容易变形。而且不锈钢高效送风口的诞生主要是用于食品企业SC生产洁净车间,此类车间对细菌数量有严格要求,但净化级别较低,仅为30万级净化,送风量要求比较小,风压也较小,这与光学微电子无尘车间的需求不一样,所以不建议电子无尘洁净车间的空调系统使用。

3. 回风口须采用可开可调式风口,不应该采用固定百叶回风口,无尘洁净车间内须在回风口安装中效过滤器,同时在洁净车间的日常使用维护中,也需要定期清洗,可开式风口便于更换中效过滤器和卫生清理;可调式风口的作用主要是为了调节无尘区域与普通洁净区域的气流组织,通过调节回风口上的百叶,可达到调节室内外压差的作用。

五、千级洁净车间装修的一般做法

关于千级洁净车间装修的一般做法,三仁将以电路板千级洁净车间的三种设计方案来比较分析。此处案例为一个柔性电路板EPC项目中的一个典型工艺房间,温湿度要求在(21±2)℃,湿度控制在(55±10)%。

1. 方案一:AHU(空调机组)+HEPA(高效送风口)

2. 方案二:MAU(新风机组)+RAU(循环机组)+HEPA(高效送风口)

3. 方案三:AHU(空调机组)+FFU(风机过滤单元)

对比三种方案发现三种方案造价差异不大,但方案三由于使用了大量循环风且只经过一次高效过滤,在运行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。因此在市场上,千级洁净车间随着FFU价格的降低,越来越受到设计师和建设方的喜爱。

千级净化车间的目的是过滤大于或等于0.5UM尘埃粒子,其送风量按换气数一般在50次以上。车间要达到这样的指标,不仅要着重采取合理的空调净化措施,而且也要求工艺、建筑及其他专业采取相应的措施。不但要有合理的设计,而且还要精心的符合规范的施工安装,以及正确的使用洁净室和科学的维护管理。当然最重要的两点是暖通系统的设计和防静电设计这两项内容。

  • 不同行业的净化车间技术指标不一样,参数也会有所区别。柔性电路板项目的温湿度要求是在21±2℃,湿度控制在55±10%。

(2)新风量。非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。

(3)送风量。要满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡。

(4)空调系统:一般有AHU(空调机组)+HEPA(高效送风口)、MAU(新风机组)+RAU(循环机组)+HEPA(高效送风口)和AHU(空调机组)+FFU(风机过滤单元)三种方案。建议可采用最后一种方案,该方案使用了大量循环风且只经过一次高效过滤,运行能耗较其他方案少。

静电是净化车间最难控制的因素之一,除静电的方法很多,包括选用防静电的材料、湿度控制、接地以及中和。接地是带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法,因此我们详细展开来说说。

(1)可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道均须采取防静电接地措施。

(2)为了抑制尘埃的带电吸附,吊顶、地面、墙、柱等围护结构均须采用防静电装饰。

(3)工艺设备须接地。

(4)办公设备采用能防静电的材料制成并接地。

(5)工作人员在进入车间时,均须穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套和腕带等。

千级净化车间设计及防静电处理好,才能保证生产环境洁净无尘,避免空气中的微粒子、有害空气、细菌这些污染物的污染,避免意外的发生,为人们提供健康和优质的产品,所以一定要重视!